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研究って？（朝７６）

2010/02/05 08:33:16

かなり日があいてしまいましたが，

前回まではビームでお絵かきをする話をしていました．

現在使われているビームの種類は，

光と電子線です．

光は目に見えるものから見えないものまで色々で，

赤・橙・黄・緑・青・藍・紫の順番でエネルギーが大きくなるのですが，

紫～紫外線が使われることが多いです．

（色の並びは虹と一緒ですね）

また，電子線というのは，

電子を高速で飛ばしてやったものと考えてもらえば良いです．

光よりも細かい加工ができるのがウリです．

前者がフォトリソグラフィ

後者が電子線(EB)リソグラフィと呼ばれます．

だいたいの目安として，

フォトリソグラフィは数マイクロメートル，

電子線リソグラフィは数十ナノメートルの加工ができます．

とんでもなく細かいことができるんだなぁ，というところですが，

昨今のトランジスタサイズの縮小化はこれを超える勢いなのです．

そういった理由で，近年では，

トランジスタの集積化限界，ということがうんざりするほど叫ばれています．

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